Om te beginnen heb je een GDMS-rapport (Glow Discharge Mass Spectrometry) nodig. Dit kan gebruikt worden om een voorlopige schatting te maken van de theoretische zuiverheid van silica (SiO₂). Houd echter rekening met de volgende belangrijke beperkingen en berekeningsmethoden:

GDMS-rapport
1. Voorbeeldmethode voor het schatten van de zuiverheid van SiO₂
(1) Directe berekeningsmethode (Hoofdbestanddeelaftrekmethode)
Veronderstelling:
Het hoofdbestanddeel van de kwartsbuis is SiO₂ en alle andere elementen worden als onzuiverheden beschouwd.
Formule:
SiO₂-zuiverheid ≈ 100% - Σ (gehalte aan alle onzuiverheidelementen)
Berekeningsstappen:
- Extraheer uit het rapport het gehalte van alle onzuiverheidselementen behalve zuurstof en silicium (in ppm-gewicht).
- Tel de gehaltes aan onzuiverheden bij elkaar op om het totale gehalte aan onzuiverheden te krijgen.
- Trek het totale percentage onzuiverheden (ppm ÷ 10.000) af van 100%.
(2) Werkelijke berekening (gebaseerd op rapportgegevens)
Bepaal de totale hoeveelheid gedetecteerde onzuiverheden (eenheid: ppm):
Li (0,16) + B (1,1) + Na (0,29) + Mg (0,05) + Al (11) + Ti (3,4) + K (0,58) + andere bovengrenzen (bijv. Fe <0,5, Cr <0,5...)
≈ 0,16 + 1,1 + 0,29 + 0,05 + 11 + 3,4 + 0,58 + 0,5 (Fe) + 0,5 (Cr) + 0,05 (Ni) + 0,1 (Cu) + 1 (Ca)
≈ 18,73 ppm (voorzichtige schatting, berekend op basis van bovengrenzen)
SiO₂ Zuiverheid:
100% - (18,73 ÷ 10.000) = 99.8127%
(3) Correctiefactoren
- Onopgemerkte elementen: Elementen gemarkeerd als "-" in het rapport (zoals Au, Hg, enz.) kunnen onder de detectielimiet van het instrument liggen, maar worden niet meegeteld in het totaal aan onzuiverheden.
- Zuurstofgehalte niet gekwantificeerd: Het rapport markeert zuurstof alleen als "hoofdbestanddeel", maar in het werkelijke SiO₂ maakt zuurstof 53,2% van de samenstelling uit (correctie voor stoichiometrische verhouding is vereist).
2. Zuiverheidsevaluatie Conclusie
- Conservatieve zuiverheid: ≥ 99.81% (berekend met behulp van de bovengrenzen van GDMS-opgespoorde verontreinigingen)
- De werkelijke zuiverheid kan hoger zijn: Als sommige elementen ver onder hun bovengrens zitten (bijvoorbeeld Fe is slechts 0,1 ppm), kan de zuiverheid oplopen tot 99.9%.
3. Belangrijkste beperkingen en overwegingen
(1) Beperkingen van de GDMS-methode
- Semi-kwantitatieve gegevens: Fe <0,5 ppm kan bijvoorbeeld in werkelijkheid 0,1 ppm of 0,01 ppm zijn, wat de berekening van de zuiverheid aanzienlijk kan beïnvloeden.
- Ontbrekende lichtelementen: GDMS heeft een zwak detectievermogen voor lichte elementen zoals C en H, wat kan leiden tot een onderschatting van het totaal aan onzuiverheden (bijv. hydroxyl OH- niet gedetecteerd).
(2) Vergelijking met industriestandaarden
Materiaalklasse | Typische SiO₂-zuiverheidsvereiste | Zuiverheid geschat met GDMS | Voldoet aan norm |
---|---|---|---|
Kwarts van industriële kwaliteit | ≥99,5% | 99.81% | Ja |
Kwarts van fotovoltaïsche kwaliteit | ≥99,9% | Dichtbij, maar onzeker | ⚠ ICP-MS-verificatie nodig |
Kwarts van halfgeleiderkwaliteit | ≥99,99% | Niet bereikt | Nee |
4. Toepassingsaanbevelingen voor het materiaal
- Industrieel/algemeen gebruik: Een zuiverheid van 99,8% is voldoende en kan direct worden gebruikt.
- Fotovoltaïsch/halfgeleidergebruik:
- Gebruik ICP-MS om te bevestigen of kritieke metaalonzuiverheden (Fe, Na, enz.) echt onder 0,1 ppm liggen.
- Vul aan met FTIR-tests om het hydroxylgehalte te bepalen (OH- < 5 ppm).
Samenvatting:
Dit materiaal behoort tot hoogzuiver industrieel kwarts, maar voldoet niet aan de eisen voor halfgeleiders (4N5 of 5N).
Beslissingsgrondslag:
Als het proces van de klant gevoelig is voor Fe/Na-vervuiling (bijv. PERC-zonnecellen), moet prioriteit worden gegeven aan het verifiëren van de werkelijke onzuiverheidsniveaus.