Başlamak için bir GDMS (Glow Discharge Mass Spectrometry) raporuna ihtiyacınız olacaktır. Bu, silikanın (SiO₂) teorik saflığına ilişkin bir ön tahmin yapmak için kullanılabilir. Ancak, aşağıdaki temel sınırlamalara ve hesaplama yöntemlerine dikkat edilmelidir:

GDMS Raporu
1. SiO₂ Saflığını Tahmin Etmek için Örnek Yöntem
(1) Doğrudan Hesaplama Yöntemi (Ana Bileşen Kesinti Yöntemi)
Varsayım:
Kuvars tüpün ana bileşeni SiO₂'dir ve diğer tüm elementler safsızlık olarak kabul edilir.
Formül:
SiO₂ saflığı ≈ 100% - Σ (tüm safsızlık elementlerinin içeriği)
Hesaplama Adımları:
- Oksijen ve silisyum dışındaki tüm safsızlık elementlerinin içeriğini (ağırlıkça ppm cinsinden) rapordan çıkarın.
- Toplam safsızlık içeriğini elde etmek için safsızlık içeriklerini toplayın.
- Toplam safsızlık yüzdesini (ppm ÷ 10.000) 100%'den çıkarın.
(2) Gerçek Hesaplama (Rapor Verilerine Dayalı)
Tespit edilen safsızlıkların toplam miktarını belirleyin (birim: ppm):
Li (0,16) + B (1,1) + Na (0,29) + Mg (0,05) + Al (11) + Ti (3,4) + K (0,58) + diğer üst limitler (örneğin, Fe <0,5, Cr <0,5...)
≈ 0,16 + 1,1 + 0,29 + 0,05 + 11 + 3,4 + 0,58 + 0,5 (Fe) + 0,5 (Cr) + 0,05 (Ni) + 0,1 (Cu) + 1 (Ca)
≈ 18,73 ppm (muhafazakar tahmin, üst limitler kullanılarak hesaplanmıştır)
SiO₂ Saflık:
100% - (18,73 ÷ 10.000) = 99.8127%
(3) Düzeltme Faktörleri
- Tespit edilmemiş unsurlar: Raporda "-" olarak işaretlenen elementler (Au, Hg, vb.) cihazın tespit limitinin altında olabilir, ancak toplam safsızlıklar içinde sayılmaz.
- Oksijen içeriği ölçülmemiştir: Rapor sadece oksijeni "ana bileşen" olarak işaretlemektedir, ancak gerçek SiO₂'de oksijen, bileşiminin 53,2%'sini oluşturmaktadır (stokiyometrik oran düzeltmesi gereklidir).
2. Saflık Değerlendirmesi Sonuç
- Muhafazakar saflık: ≥ 99,81% (GDMS ile tespit edilen safsızlıkların üst sınırları kullanılarak hesaplanmıştır)
- Gerçek saflık daha yüksek olabilir: Bazı elementler üst sınırlarının çok altındaysa (örneğin, Fe sadece 0,1 ppm ise), saflık 99.9%.
3. Temel Sınırlamalar ve Dikkate Alınması Gereken Hususlar
(1) GDMS Yönteminin Sınırlamaları
- Yarı nicel veriler: Örneğin, Fe <0,5 ppm aslında 0,1 ppm veya 0,01 ppm olabilir ve bu da saflık hesaplamasını önemli ölçüde etkileyebilir.
- Eksik ışık elemanları: GDMS, C ve H gibi hafif elementler için zayıf tespit kabiliyetine sahiptir, bu da toplam safsızlıkların olduğundan daha az tahmin edilmesine yol açabilir (örneğin, hidroksil OH- tespit edilmemiştir).
(2) Endüstri Standartları ile Karşılaştırma
Malzeme Sınıfı | Tipik SiO₂ Saflık Gereksinimi | GDMS'den Tahmin Edilen Saflık | Standartları Karşılar |
---|---|---|---|
Endüstriyel sınıf kuvars | ≥99,5% | 99.81% | Evet |
Fotovoltaik sınıf kuvars | ≥99,9% | Yakın, ama belirsiz | ⚠ ICP-MS doğrulaması gerekli |
Yarı iletken sınıfı kuvars | ≥99,99% | Ulaşılamadı | ❌ Hayır |
4. Malzeme için Uygulama Önerileri
- Endüstriyel/genel kullanım: 99,8% saflığı yeterlidir ve doğrudan kullanılabilir.
- Fotovoltaik/yarı iletken kullanımı:
- Kritik metalik safsızlıkların (Fe, Na, vb.) gerçekten 0,1 ppm'nin altında olup olmadığını doğrulamak için ICP-MS kullanın.
- Hidroksil içeriğini (OH- < 5 ppm) belirlemek için FTIR testi ile destekleyin.
Özet:
Bu malzeme yüksek saflıkta endüstriyel sınıf kuvarsa aittir ancak yarı iletken sınıfı gereksinimlerini (4N5 veya 5N) karşılamaz.
Karar temeli:
Müşterinin prosesi Fe/Na kontaminasyonuna duyarlıysa (örn. PERC güneş pilleri), gerçek safsızlık seviyelerinin doğrulanmasına öncelik verilmelidir.